电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）是一项高度复杂的多元素分析技术，它正越来越多地在制药行业、食品与饮料行业以及环境监测中用于痕量元素的检测与定量分析。

污染物的影响

在基于ICP-MS技术的痕量分析过程中，主要在前期步骤使用纯水。显而易见，任何存在于水中的污染物都可能对分析过程的所有其它步骤产生不利影响。因此，分析过程中使用的纯水，例如用于样品稀释的纯水等，都应该几乎不含离子，同时具有相对较低的TOC浓度。

实验室纯水中污染物的影响：

总有机碳（TOC）化合物：

导致有机金属化合物的产生，从而对痕量分析结果造成不利影响

污染设备组件

高离子浓度（电导率）：

大大影响分析物的能谱分析结果

导致分析结果失真

颗粒物：

堵塞分析仪器（如雾化器等）部件

可结合金属，从而影响分析结果

细菌：

堵塞系统组件

释放离子

关键因素

特别是，低离子浓度在制备ICP质谱分析样品时能够起到关键作用。由于ICP-MS是一项极为复杂的分析方法，因此所用纯水必须具备极高的质量，例如电导率为0.055 μS/cm的ASTM I级超纯水。此外，TOC水平必须保持在较低值（建议<10ppb）。